南大光电:未有关于EUV光刻胶的研发计划
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2026/10/20 08:48

  南财智讯10月20日电 ,南大光电在互动平台表示,公司现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化,未有关于EUV光刻胶的研发计划。

南大光电:未有关于EUV光刻胶的研发计划-第1张图片

(文章来源:南方财经网)

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